Air shower风淋室操作规范

一 目的

确保air shower风淋室正常工作，保证FAB清洁和安全卫生

二 适用范围

A6-1  MEMS 厂务系统所有Air shower 风淋室

三 装置说明

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1. 系统操作说明及注意事项

注意事项：

1. 紧急情况按停止开关，互锁立即解除，两门可以同时打开。
2. 风淋室通电后，只能开启一侧的门，严禁在通电的情况下同时打开两门。
3. 当风淋室内侧的时间显示为0或不在显示状态时，按急停按钮，否则将造成电路损坏。
4. 任何违反以上的操作将会造成事故的发生，甚至损坏控制系统。
5. 使用急停按钮断电，重新启动控制电路（瞬间两门同时打开属于正常）。

四 异常处理事项

风淋室出现异常，请按下表经行自检，若不能排除故障，请及时与该公司售后服务部联系。

五 相关设备规格

六 系统维修, 保养校正周期及允收标准.

A：风淋室工作参数说明

参数设定需持续按下急停按钮3秒进入设定状态。此时风淋倒计时数字显示HE，急停键作为设定键，风淋键作为翻页使用。按风淋键会依次显示

TI（门外锁设定时间）

TO(内门解锁延时设定)

TC(风淋延时时间设定)

TL(照明延时时间设定)

TD(功能设定)

TN(门互锁设定)

B：风淋室工作参数设定

1、 风淋时间设定：在风淋开始或结束前，直接通过上下键调节时间（0~99S）,调节结束后5秒钟进入设定保存状态。

2、 门外解锁延时设定：连续按下急停键3秒，数字显示HE，按风淋键数码管显示：TI，按上下键设定0-99秒经行调节，按风淋键确定，5秒进入设定参数保存。

3、 门内锁延时设定：完成外门设定后，在五秒内再次按风淋键，按上下键设定0-99秒经行调节，按风淋键确定，5秒进入设定参数保存。

4、 电锁延时设定：完成内门设定后，在五秒内再次按风淋键，按上下键设定0-99秒经行调节，按风淋键确定，5秒进入设定参数保存。

5、 照明延时设定：完成内门设定后，在五秒内再次按风淋键，按上下键设定0-99秒经行调节，按风淋键确定，5秒进入设定参数保存。

6、 功能设置设定：设为“0”为普通型，即“进门---感应---吹淋---出门”；设为“1”为无感应型，即“进---吹淋---出门” ；设为“2”为无门型，即“感应---吹淋”过程控制。

7、 门互锁功能设定：门互锁有“0”和“1”两个状态，设置“0”时为正常状态，设置“1”时为互锁状态。

七 安全作业标准

a)   启动风淋门相应的设备应为专职人员经行操作。

b)      打开风淋控制柜及电箱必须具备相应安全保障措施才能经行操作。

c)      维修人员需要具备相应的操作资格，涉及电操作应两人以上人员操作。

d)      维修人员需穿上必备的劳保用品，洁净区操作按照FAB管理要求经行。

e)      及时准确记录操作的相关内容。

八 附件

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