风淋室在MEMS中试平台的应用

    近日,fenglins在朋友的带领下,来参观某MEMS中试平台,听相关负责人介绍道:近千平米的洁净室便是微机电制造的“主战场”，按照工艺流程分为“光刻区”、“蚀刻区”、“薄膜区”、“扩散区”、“注入区”和“封装测试区”。笔者穿梭在160多套顶尖的制造机台间，“高大上”的气息扑面而来。而且在进入这种车间的前面都要经过一道风淋室进行风淋除尘后才能进入到里面.

    整个MEMS中试平台的洁净度等级分为四种，分别是class10、100、1000、10000，洁净程度最严苛的是光刻区，按照标准，即使是肉眼看不见的灰尘，一立方米的空气中最多只能存在几粒。

    MEMS中试平台的专业还体现在对环境的苛刻要求，温度要时刻保持23度，上下幅度不能超过1度，湿度要在45%，上下幅度不能超过5%。进入该平台的“心脏”--洁净室之前，所有人员必须换上全套的防尘服，手套、口罩自然也是必要装备。可别以为这样就能轻松进入了，身份登记和随身物品清洗后，你还要面临风淋室里面的8个风淋喷嘴进行10秒钟的吹风清洁，以确保拂去尘土。

    要保持清洁，除实时监测和定期打扫外，还有一个隐藏在地板地下的奥秘。“其实我们现在看到的机台都只是‘冰山一角’，它们的一些附属设备都‘埋’在地板下，比如冷却机、气柜、泡沫管等等。”工作人员说:“将机台的部分‘身体’埋起来可以有效减少灰尘的堆积。”仔细观察，你还会发现地板上分布著许多小洞，这些小洞是为了让灰尘随著空气层流从上至下流到“地下”并排出的独特设计。这个也是洁净室里面最常见的一种送风方式,随时着和各种洁净度要求的提高, MEMS中试平台的洁净要求也是相对比较高的,这就要求所配套使用的风淋室一定要达到相关要求.