MEMS(微纳机电系统)和风淋室

    据了解,在位于苏州工业园区金鸡湖大道的苏州奈米城内，国内首个市场化运作、全开放的 MEMS 中试平台已渐露雏形，目前该中试平台设备调试工作正在紧张有序进行中，8月将试运行，未来它将开展微纳机电共性技术和标准工艺的研发，提供中试加工、检测分析、设备租赁和代工技术转移等服务。那么MEMS(微纳机电系统)又和风淋室有什么关系呢?

    Fenglins应邀来到了近千平米的洁净室,此房间便是微机电制造的“主战场”，按照工艺流程分为“光刻区”、“蚀刻区”、“薄膜区”、“扩散区”、“注入区”和“封装测试区”。在MEMS中试平台相关负责人的带领下，穿梭在160多套顶尖的制造机台间，“高大上”的气息扑面而来。“微纳机电制造与传统的积体电路不同，除让硅片长膜，再蚀刻出拥有不同功能的相应‘图案’外，它更注重立体结构的搭建。”

整个MEMS中试平台的洁净度等级分为四种，分别是class10、100、1000、10000，洁凈程度最严苛的是光刻区，按照标准，即使是肉眼看不见的灰尘，一立方米的空气中最多只能存在几粒。MEMS中试平台的专业还体现在对环境的苛刻要求，温度要时刻保持23度，上下幅度不能超过1度，湿度要在45%，上下幅度不能超过5%。进入该平台的“心脏”--超凈间之前，所有人员必须换上全套的防尘服，手套、口罩自然也是必要装备。可别以为这样就能轻松进入了，身份登记和随身物品清洗后，你还要通过风淋室里的12个风淋嘴进行至少10秒钟的吹风清洁，以确保拂去尘土。

原文来源:http://www.fenglins.com/  黄生13570963007