半导体材料产业风淋室的应用

  现今我国已是全球第三大电子信息产品制造国，电子信息产品已经渗透到我们生活的各个角落，包括通信、医疗、计算机及周边视听产品、玩具、军工用品等。从产业链上来看，包括电子元器件产品、IC、配件、电子中间产品（如车载产品）、终端产品。电子产业的发展必然会带动起相关产业的发展，无尘车间的风淋室就是其中的一种重要设备。

    半导体材料（semiconductormaterial）是导电能力介于导体与绝缘体之间的物质。半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电的电子材料，其电导率在10（U-3）～10（U-9）欧姆/厘米范围内。在电子行业中半导体材料的使用十分广泛，大部分的电子元器件都使用到半导体材料。

    半导体材料有以下共同特点：

1．半导体的导电能力介于导体与绝缘体之间

2．半导体受外界光和热的刺激时，其导电能力将会有显著变化。

3．在纯净半导体中，加入微量的杂质，其导电能力会急剧增强。

    半导体材料提纯是发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求，为得到高纯度的硅材料，原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品品质量的一个突出问题。加工环境的洁净度由多方面的因素决定，因素之一进入洁净的人员，工作人员净化设备为风淋室，风淋室是经高效过滤器过滤的洁净空气从喷嘴喷出，吹落工作服上的灰尘，含尘空气经粗效过滤器被风机吸入，加压后流过高效过滤器再从喷嘴喷出，如此循环。风淋室都装有定时装置，工作人员按压启动按钮后，即可进入风淋室并关门吹淋，一定的设定时间之后风淋自动停止。这时，工作人员即可进入洁净室。

    不难看出风淋室的使用对于高精度，高质量电子产品的加工生产有着重要作用。

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