超净工作台检验方法-层流洁净工作台检验标准JGT_19-1999

本文上接：层流洁净工作台检验标准--JG/T 19- 1999（第一部分）

3 超净工作台之检验方法

3.1 检漏

检 漏 包 括泄漏测试和诱人测试。泄漏是指高效空气过滤器上游侧气溶胶，未经过滤，通过过滤器孔洞或安装不严形成的缝隙漏至过滤器下游侧的现象;诱人是指洁净工作台箱体外的气溶胶，通过箱体缝隙或操作口而诱导进人操作区的现象(见图1,图2)

3.1.1泄漏测试

3.1.1门仪器

采 用 检 漏装置或同类型仪表。其性能要求

a 多 分 散DOP气溶胶(冷烟)发生器，其浓度通常达80-100p g/L,

b 光 度计，其对DOP气溶胶(冷烟)浓度的测量范围为0.00 1^-100ug/l

3.1.1.2 测试方法

向高 效 空 气过滤器上游侧发DOP气溶胶(冷烟)，同时用检漏装置的采样器在下游侧距高效空气过滤器出口约2.5 cm处进行扫描巡检。采样量为47.2X10 5m丫s C28. 3 L/minD，巡检速度钱5 cm/s。当下游侧浓度与上游侧浓度的比大于。01%时，则认为有明显泄漏，应进行堵漏。

3.1.2诱人测试

3.1.2.1 仪器

与3. 1. 1.1相同。

3.1.2.2 测试方法

在 洁 净 工作台箱体连结缝外侧和操作口边缘外侧所毗连的周围环境中，发DOP气溶胶(冷烟)然后用采样器在连结缝内侧和操作口边缘内侧巡检。

a. 缝 隙诱人测试

水 平 层 流洁净工作台，应在距操作区壁面3c m，距接缝5c m 的下游处;而垂直层流洁净工作台，应

在距操作口上挡板内表面5 cm，距高效空气过滤器出口或整流格板表面10 cm处进行巡检当检漏仪(光度计)的读值超过台外读值的。.01%时，则确认有气溶胶诱人(见图3、图4)。必须进行堵漏。

b 外 部诱人测试(操作口边缘)

水 平 层 流洁净工作台，应在距开口处边缘往里5c m，距壁内表面3c m处(见图5);而垂直层流洁净工作台，应在距前挡板下边缘往上5 cm，距前挡板内表面3 cm处以及距台面回风栅板边缘往里10 cm,

距回风栅板往上5 cm处(见图6)进行巡检。当检漏仪(光度计)读值超过台外读值的。.01%时，则确认有气溶胶诱人。

该 项 外 部诱人测试仅适用新产品检测。

3.2 洁净度

3.2.1仪器

尘 埃 粒 子计数器。

3.2.2测试方法

3.2.2.1 进行洁净度测试时，吸风口处的气溶胶浓度(对于>-0. 5 km的粒子)不得小于35 000粒/L,当吸风口处不能满足上述指标时，宜在洁净工作台吸风口处发多分散DOP气溶胶。

3.2-2.2 当吸风口处的气溶胶浓度达到稳定条件下，在距主过滤器或整流格栅出口250 mm的平行断

面的中心处(垂直层流洁净工作台距操作台面250 mm的中心处)连续测试5次，求其平均值。

3.2-2.3 操作区气溶胶浓度测试尽量采用大流量(47.2X1 0- m'/s(28.3 L /min))尘埃粒子计数器，也可采用小流量尘埃粒子计数器，但采样量不得小于11。

3.2.2.4 洁净工作台吸风口处的气溶胶浓度测试，需要在测试洁净工作台操作区气溶胶浓度的时间内

进行，要测5次以上。

3.2-2.5 当测试时有)5 pm粒子出现时，应进行多次采样，当其多次出现时，才认为该测试数值是可

靠的

12.3 可比工作环境条件下的操作区气溶胶浓度计算:

.......⋯ ⋯ ，..·..·....⋯ ⋯ (1)

C

矶-G

一一

式中:C— 操作区对比气溶胶浓度()。5 pm),(粒/L);

c — 洁净工作台吸风口处)0.5 p m的气溶胶浓度平均值，粒/L;

C, — 洁净工作台操作区)0.5 p m的气溶胶浓度平均值，粒/L;

Co — 可比工作环境中的)0.5 p m的气溶胶浓度，取值为350 00粒/L,

3.2.4使用条件下操作区的洁净度

洁 净 工 作台在使用条件下，不论其使用环境中的含尘浓度是多少，要按有关规定进行测试，并按操

作区气溶胶的实测浓度来评价操作区的洁净度。

3.3 风速

3.3.1仪器

采 用 便 携式热球电风速计或便携式热敏电阻恒温风速计测试，所选用的仪器其误差不大于被测量

的士1o%，风速计应按说明书中的要求进行标定。

3.3.2测试方法

3.3.2.1 把在主过滤器或扩散板下游10 cm处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积，各面积中

心点即为风速测点(见图7)。但各测点间距不应大于25 cm,

13.2.2将各测点风速值计算出截面风速算术平均值。风速和风速均匀率应达到2.3中的规定。风速

均匀率按下式计算:

V里大(c-0,)一V平

V ,

X 100% .............·............... (2 )

式中: 尸— 风速均匀率，%;

Vw*(小)

V,-

截面风速最大(小)值，m/s ;

截面风速算术平均值，m/s

3.4 终负荷条件下的风速测试

当 主 过 滤器阻力增加到约初阻力(即工作台设计风速下的阻力)二倍后，要求洁净工作台操作区平

均风速不得小于0. 3 m/s。该项测试适用于新产品。

3.4.1仪器及设备

3.4.1.1 风速计按3.3.1 规定选用。

3.4. 1.2 倾斜式微压计，精度应不低于1级，标定应按JJG 172-7s+倾斜式微压计检定规程》进行。

3.4.1.3 阻尼挡板采用冷轧碳素钢板，其尺寸大小为该洁净工作台上安装的高效空气过滤器的尺寸(长x宽)。将挡板均匀钻孔，使钻孔的挡板阻力加上高效过滤器的阻力约为高效过滤器的终阻力值(即终阻力达到初阻力的二倍值)。亦可采用其他材料做的阻尼层。

3.4.2测试方法

在 洁 净 工作台的高效过滤器前、后处接人微压计。在紧贴高效过滤器的上风侧装上钻孔的挡板(挡板开孔加工面的反面应对着上风侧)，安装时应注意严密。

按3. 3. 2的测试方法，测定洁净工作台操作区的风速。使平均风速应在所规定最小风速的士10%以内。

I5 噪声

35门仪器

采 用 声 级计。仪器标定后应符合有关标准规定。

3.5.2测试方法

3.5-2.1 洁净工作台的噪声测点应布置在工作台中心，距台面前沿20 cm处，高度为110 cm(相当操作人员坐着的耳部位置)，如图8。其他局部净化设备的噪声测点应布置在距设备主要表面几何中心的水平距离100 cm，高度为150 cm处。宜四面各测定一次，取四点算术平均值。

15.2.2局部净化设备应在正常运行条件下，测定A声级及倍频程值倍频程的中心频率范围为63-8 000 Hz。对于出厂产品或现场检验(即维修后的设备)仅测试A声级值，对于新产品还应测试噪声倍频程值。

3.5.2.3 测试噪声的环境宜在室内比较开阔的、较硬实反射地面上进行测量。传声器附近1 m的范围内，不应有其他反射物。设备操作区开口处，若设有挡板应全部开启，特别注意避免气流产生的风压、电磁场、振动等给测量带来的影响

15.2.4当实测噪声值与背景噪声值的差值，大于或等于10 dB(A声级)时，表示实测噪声值有效;为6-9 dB(A声级)时，应将实测噪声值结果减去1 dB;为4-5 dB时，应减2 dB;当小于3 dB时，则测量无效。

15.2.5测定洁净工作台的A声级值应达到2.4 中的规定。

36 振动

3.6.1仪器

应 是 具 有2 500H z的振动频率，位移为0.1 ij m^ 1.5 m m，加速度为。.Olg^-log的振动分析计。

仪器校准应按照说明书的要求进行。

3.6.2测试方法

3.6.2.1 当洁净工作台在正常运行条件下，将振动分析计的拾振器置于操作面的几何中心处，测出x,

Y,Z三个轴向的总振幅值。

3.6.2.2 被测试的洁净工作台应放置在振动比较小的地面上进行。在测试过程中应避免周围环境的影

口向。

3.6.2.3 三个轴向的振幅值均应达到2.5中的规定。

3.7 照明

3了门仪器

采 用 携 带式照度计，应按说明书的要求进行校准。

3.7.2测试方法

测 点 布 置在洁净工作台横向的中心线上，均匀布置三点，取算术平均值作为洁净工作台的照度。其照度应达到2. 6中的规定。

3.8 绝缘阻抗

3.8.1仪器

采 用 50 0v 的兆欧表。

3.8.2测试方法

参 照 GB 998-67(低压电器基本试验方法》和JB 617-65《低压配电屏技术条件》标准。测量电器及接线部分对工作台金属结构之间的绝缘电阻

I9 耐电压测试

参 照 JB 617-65有关规定，将工作台的电器绝缘部分加10 00v 工频持续1m in，查有无击穿和闪络现象。

4 检验报告的编写

4门各项检验应按下列表格进行检测记录和整理。

表 1 洁 净工作台铭牌登记表;

表 2 洁 净度实测记录表;

表 3 风 速实测记录表;

表 4 噪 声实测记录表;

表 5 振 动实测记录表;

表 6 照 度实测记录表。

4.2 对特殊测试项目，可根据具体情况按需要进行并记录和整理。

附 录A

本标准用词说明

(补 充 件 )

A1 表示很严格，非这样作不可的用词

1 正面词采用“必须”。

2 反面词采用“严禁”。

表示严格，在正常情况下均应这样作的用词

1 正面词采用“应”。

2 反面词采用“不应”或“不得”

对表示允许稍有选择，在条件许可时首先应这样作的用词

1 正面词采用“宜”或“可”。

2 反面词采用“不宜”

A A A A A A A A

附加说明:

本标准由中华人民共和国城乡建设环境保护部提出，由中国建筑科学研究院归口。

本标准由中国建筑科学研究院空气调节研究所负责起草。

本标准主要起草人:李贵文、施能树、王君山、朱培康、魏贻宽。

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